00001. ?粒徑范圍?
· 需覆蓋0.1μm~10μm的顆粒檢測,半導體/醫藥行業需重點關注0.3μm~5μm的敏感粒徑。
· 激光粒子計數器(如0.1μm分辨率)適用于高精度場景,光散射法傳感器適合成本敏感型應用。
00002. ?流量選擇?
· 大流量(28.3L/min)適用于快速掃描,小流量(2.83L/min)適合高精度區域監測。
00003. ?合規性?
· 設備需符合ISO 14644-1、GMP等標準,校準需遵循JJF1190-2008規范。
· ?硬件組成?
· 粒子計數器(多測點布局)、浮游菌采樣器(制藥行業)、溫濕度傳感器。
· 數據采集模塊支持Modbus/RS485協議,實現設備互聯。
· ?軟件功能?
· 動態閾值預警(如ISO 5級超標自動報警)、數據可視化看板、歷史趨勢分析。
· 支持與FFU風機、HVAC系統聯動,實現凈化強度自動調節。
行業 | 核心需求 | 典型配置 |
半導體 | 0.1μm顆粒控制,防電路短路 | 激光粒子計數器+多測點布局 |
制藥 | 微生物關聯監測,符合GMP動態要求 | 浮游菌采樣器+粒子計數器組合 |
電子裝配 | 成本敏感,中等潔凈度 | 光散射法傳感器+局部監測 |
00001. ?測點布置?
· 層流室≥20個測點,亂流室每50㎡設5個,高度1m(參考ISO 14644-2)。
00002. ?狀態區分?
· 動態檢測數據(生產狀態下)比空態/靜態更具實際參考價值。
00003. ?維護校準?
· 每6個月校準激光光源,定期清潔采樣口避免堵塞。
· ?數據存儲與分析?
· 采用云端存儲技術,確保數據的安全性和可追溯性。
· 通過高級分析工具,識別顆粒物來源和趨勢,優化管控策略。
· ?擴展功能?
· 集成AI算法,預測潛在污染事件,提前采取預防措施。
· 支持移動端訪問,實現遠程監控和管理。
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